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Technical scheme
激光掺杂用硼浆以及配套激光掺杂工艺的研发目标是应用于PERL电池的背面局部重掺和N-TOPCon电池正面SE结构。
1.能获得超过1E20cm-3以上的表面硼浓度,从而于金属电极形成良好的接触;
2.电池背面重掺区结深可调,可以与铝浆浆料和烧结工艺同步调整,保证稳定LBSF;
3.进一步提升PERC电池的开压与效率。