链式退火技术研发的目标是应用于SE-PERC电池生产的背面抛光工序。

1.激光SE掺杂后在硅片表面用链式氧化技术生长的氧化层，可在背面碱抛时实现良好正面保护效果；

2.相较管式热氧化工艺，可大幅生产便捷性并且降低成本。